股票上的杠杆理论上也几乎不会产生颗粒
BPS-4000 超高纯度无轴承泵 levitronix
BPS-4000 超高纯度无轴承泵 levitronix
家
微电子泵
BPS-4000
BPS-4000
用于湿法微电子工艺的
超高纯度无轴承泵
最大流量280升/分钟
最大压力6.5 巴/94 磅/平方英寸
最高流体温度70°C
接液部件材质聚四氟乙烯/聚四氟乙烯
展开剩余81%探索所有选择
Levitronix® BPS -4000 泵系统专为微电子湿法应用中敏感液体的高纯度处理而设计。基于主动磁悬浮技术，泵叶轮利用电机产生的磁场悬浮或旋转。宽间隙消除了运动部件之间的机械接触和磨损，从而避免了轴承和密封件的失效。叶轮和外壳采用耐化学腐蚀的高纯度含氟聚合物制成。通过电子调节叶轮的转速，可以精确控制流体流量和压力。
性能曲线优势
性能曲线
优势
业界验证——
适用于半导体制造（及其他领域）的最高纯度泵！
叶轮和泵头壳之间
无机械接触，因此不会产生磨损，
理论上也几乎不会产生颗粒。
极低的颗粒脱落
Levitronix®
泵的湿润表面积明显低于气动泵， 仅为同类气动泵的一小部分。
金属污染极少
极其可靠：
由于没有轴承磨损或密封件故障，
设备正常运行时间增加，延长了工艺设备的使用寿命并
降低了维护成本。
极长的 MTBF（>100 年）
为您的工艺提供精确、稳定、可靠的流量和压力。
开放式泵头设计、高流量分辨率、离心泵送
原理以及无阀门设计，确保无脉动流量并
提升过滤性能。
无脉动流量
与气动泵相比
，其体积明显小得多，高度集成的泵电机设计和
无需机械轴承显著
减少了占地面积，从而可以在有限的空间内安装。
占地面积小
非常适合浆料和精细电镀溶液：
无 机械轴承、窄间隙、裂缝、死
区和光滑的表面，
可以温和地处理敏感流体。
低剪切设计
无需流量节流阀 - 高精度流量压力
Levitronix 泵
提供可变速度和高分辨率，可在较宽的操作范围内精确控制流量或压力。
高可控性和最宽的流量范围
从几毫升/分钟到最大流速
，BPS 系统
可精确控制并保持从几毫升/分钟到最大流速的平稳流动，
实现任何竞争泵的最高调节比。
最高客流量
创建反馈回路：
将流量计或压力传感器集成到您的泵系统中
以创建反馈回路，
从而实现所需过程条件的自动控制。
集成PI控制器
凭借超过 25 年的经验，Levitronix®
泵已在其他高要求行业（包括生物制药制造）中 得到充分认可、验证 和证明。
悠久的历史
智能制造的智能泵BPS 泵 可实现高性能数据采集
，非常适合预测性维护和工厂范围的系统集成。
数据采集和数据监控
与气动泵相比，振动和噪音极低
：叶轮和泵壳之间的磁耦合
几乎不会产生振动，
因此运行极其安静。
低噪音和振动
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